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光刻胶在电机定转子加工绕组中的应用

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     为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用az4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速—胶膜厚度、前烘时间—温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作出了厚度为40μm、陡直度良好的定子绕组线圈。把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机,通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明,电机运转平稳、力矩波动小。
责任编辑: 整理时间:2010-1-12 10:10:40
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